Money.plTechnologie dla biznesuPrzemysłPatentyPL 234399 B1
Wyszukiwarka patentów
  • od
  • do
Patent PL 234399 B1


PL 234399 B1

RZECZPOSPOLITA POLSKA (12) OPIS PATENTOWY (19) (21) Numer zgłoszenia: 423934 Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (54) (22) Data zgłoszenia: 18.12.2017 PL 234399 (13) B1 (11) (51) Int.Cl. G01J 1/42 (2006.01) G01M 11/02 (2006.01) G01T 7/00 (2006.01) G02B 26/00 (2006.01) Sposób i układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego oraz jego szybkich zmian z nanometrową rozdzielczością przestrzenną (73) Uprawniony z patentu: (43) Zgłoszenie ogłoszono: 01.07.2019 BUP 14/19 (45) O udzieleniu patentu ogłoszono: PL 234399 B1 28.02.2020 WUP 02/20 SIEĆ BADAWCZA ŁUKASIEWICZ ? INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ, Warszawa, PL (72) Twórca(y) wynalazku: ADAM ŁASZCZ, Warszawa, PL ANDRZEJ CZERWIŃSKI, Warszawa, PL 2 PL 234 399 B1 Opis wynalazku Dziedzina techniki Przedmiotem wynalazku jest sposób i układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (w szerokim zakresie podczerwieni) za pomocą zestawu wielu nanometrowych w rozmiarze struktur detekcyjnych umożliwiających dzięki temu pomiar takiego promieniowania z nanometrową rozdzielczością przestrzenną. Źródła promieniowania podczerwonego, są obecnie przedmiotem intensywnych badań naukowo-przemysłowych. Między innymi są nieodzowne w układach detekcji przeznaczonych do wykrywania śladowych ilości substancji chemicznych, których identyfikacja jest ważna z punktu widzenia obronności, ochrony środowiska czy diagnostyki medycznej. Wśród innych istotnych zastosowań takich źródeł znajduje się laserowa transmisja danych w wolnej przestrzeni (FSO) i układy zakłócające w podczerwieni (IRCM). Zaproponowany sposób pomiaru pozwoli na badanie z nanometrową rozdzielczością przestrzenną natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego w bezpośredniej bliskości źródła emisji tego promieniowania (tzw. polu bliskim ? jest to odległości od kilku do kilkudziesięciu ?m). Opracowanie takiego sposobu jest bardzo istotne, gdyż znajomość rozkładu promieniowania w bliskim polu pozwoli przeanalizować wpływ geometrii, sposobu zasilania i konstrukcji źródeł promieniowania na emitowaną wiązkę oraz projektować źródła emitujące wiązkę o optymalnym kształcie. Sposób ten, umożliwi też badanie zależności wiążących kwantowe zjawiska optyczne ze zjawiskami cieplnymi i elektrycznymi. Stan techniki Sposób i układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego bazują na integracji kilku elementów w jeden układ, który nazywany jest potocznie układem pomiarowym. Najistotniejszym elementem takiego układu pomiarowego jest detektor, który połączony jest z urządzeniem odczytującym sygnał, a ten z kolei sprzężony jest z urządzeniem rejestrującym i przetwarzającym wychwycony sygnał (zazwyczaj jest to komputer z odpowiednim oprogramowaniem). Detektor może zawierać pojedynczą strukturę detekcyjną lub wiele takich struktur detekcyjnych, z których każda pozwala odczytać sygnał elektryczny proporcjonalny do ilości padającego na nie promieniowania. Istnieją w literaturze doniesienia o sposobach pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego w polu bliskim (na przykładzie laserów półprzewodnikowych laserów kaskadowych wykonane przy użyciu układu pomiarowego (NSOM ? Near-Field Scanning Optical Microscope) opartego o skaningowy mikroskop optyczny [1?3]. [1] Yu, N., Diehl, L., Cubukcu, E., Pflügl, C., Bour, D., Corzine, S., Zhu, J., Hófler, G., Crozier, K.B., Capasso, F. Near-field imaging of quantum cascade laser transverse modes. Optics Express, 15(20) 13227?13235 (2007). [2] Richards, D. (ed.). Nano-optics and near-field optical microscopy. Artech House, 2009. [3] Huang, X., Dikmelik, Y., Gmachl, C. Non-uniform lateral current distribution in quantum cascade lasers. Optics Express, 22 (5), 6154?6164 (2014). Sposób NSOM jest stosowany standardowo do pomiarów emitowanej wiązki w polu bliskim przy różnych zakresach długości fal promieniowania podczerwonego. Ma on jednak wiele wad. Pomiar sposobem NSOM dla badanego obszaru odbywa się poprzez systematyczne skanowanie punktu po punkcie, przez co uzyskane rozkłady są wynikiem uśrednienia wartości pomiarowych uzyskanych w dość długim czasie i nie jest możliwa analiza szybkich zmian rozkładu pola. Inne znane sposoby i układy pomiaru wiązki emitowanej przez źródła podczerwone, które są dostępne komercyjnie mają również szereg ograniczeń. Układy pomiarowe wykorzystujące matryce CCD lub CMOS np. dla zakresu fal od ultrafioletu do 1,6 ?m (bliska podczerwień) lub matryce mikrobolometryczne Si dla zakresu od 8 do 14 ?m (średnia podczerwień, np. DataRay Inc. https://www.dataray.com) cechuje niedostateczna rozdzielczość przestrzenna (pomiary tylko w zakresie mikrometrów). Z kolei profilometry o sub-mikrometrowej rozdzielczości przestrzennej wykorzystujące technologie CCD i Knife Edge (Duma Optronics Ltd. https://www.dumaoptronics.com) pozwalają na pomiary w zakresie od ultrafioletu tylko do długości fali 2,7 ?m (cały zakres bliskiej podczerwieni i początek średniej podczerwieni). Znane są także opatentowane sposoby (zawierające różne układy pomiarowe) mogące służyć do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania emitowanego przez różne źródła laserowe w tym także źródła promieniowania podczerwonego: US4745280, US5058988, US5214485, PL 234 399 B1 3 US6313910, US20020041418, US6526077, US20060058196, US7420146, US20090051902, US 9709438 B2, US20120314210, US8441625. Istota wynalazku Sposób pomiaru z nanometrową rozdzielczością przestrzenną natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego w całym zakresie falowym tego promieniowania, realizowany w bezpośrednim obszarze źródła promieniowania podczerwonego, charakteryzuje się tym, że a) wiązką promieniowania podczerwonego ze źródła promieniowania podczerwonego oświetla się zestaw ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych, po czym b1) jeśli struktury z zestawu ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych swymi rozmiarami nie obejmują całego obszaru przestrzennego wiązki tego promieniowania, to emitowane promieniowanie podczerwone skanuje się liniowo w całym obszarze wiązki, ze stopniowym przesuwem w pionie lub poziomie zestawu ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych, albo b2) jeśli struktury z zestawu ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych swymi rozmiarami obejmują cały obszar przestrzenny wiązki tego promieniowania to b2.1) emitowane promieniowanie podczerwone skanuje się obracając zestaw ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych wokół środka zestawu, albo b2.2) emitowane promieniowanie podczerwone skanuje się obracając zestaw ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych zgodnie z ruchem wskazówek zegara wokół pierwszej lub ostatniej struktury z zestawu ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych, a następnie z każdej struktury z zestawu ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych przekazuje się sygnały elektryczne do zewnętrznego miernika parametrów elektrycznych, po czym za pomocą urządzenia przetwarzającego zarejestrowany sygnał otrzymuje się przestrzenny rozkład natężenia promieniowania podczerwonego w obszarze wiązki promieniowania. Korzystnie szerokość pojedynczej struktury detekcyjnej wynosi od 1 nm do 100 nm. Korzystnie szerokość przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami detekcyjnymi wynosi od 1 nm do 100 nm. Układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego charakteryzuje się tym, że zawiera umieszczony na dielektrycznym podłożu zestaw ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych, które to struktury detekcyjne są oddalone od siebie o szerokość (B) równą szerokości (A) pojedynczej struktury detekcyjnej, jednocześnie każda ze struktur detekcyjnych posiada swój kontakt elektryczny oraz niezależne od pozostałych struktur wyprowadzenie elektryczne, które łączy każdą strukturę detekcyjną z miernikiem parametrów elektrycznych, a miernik ten połączony jest z urządzeniem przetwarzającym zarejestrowany sygnał. Korzystnie szerokość pojedynczej struktury detekcyjnej wynosi od 1 nm do 100 nm. Korzystnie szerokość przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami detekcyjnymi wynosi od 1 nm do 100 nm. Ewentualne korzystne skutki wynalazku w odniesieniu do stanu techniki Sposób i układ do pomiaru według wynalazku pozwala na badanie natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego w bezpośredniej bliskości źródła emisji tego promieniowania, czyli w tzw. polu bliskim. Pomiary takie dokonywane są z nanometrową rozdzielczością przestrzenną. W sposobie tym wykorzystuje się układ pomiarowy zawierający zestaw wielu nanometrowych w rozmiarze struktur detekcyjnych ułożonych w jednej linii (w postaci linijki), sprzężonych z urządzeniem odczytującym, rejestrującym i przetwarzającym wychwycony sygnał. Dzięki zapewnieniu niezależnego odczytu sygnału dla każdej struktury detekcyjnej możliwy jest znacznie szybszy i jednocześnie nadzwyczaj precyzyjny (z nanometrową rozdzielczością przestrzenną) pomiar natężenia i rozkład przestrzennego promieniowania podczerwonego. W dodatku możliwa jest także rejestracja szybkich zmian rozkładu tego promieniowania, a pomiar promieniowania podczerwonego może być realizowany w całym zakresie spectrum od bliskiej do dalekiej podczerwieni. Detekcja szybkich zmian rozkładu tego promieniowania jest możliwa dzięki zastosowaniu zestawu zawierającego wiele struktur detekcyjnych, zamiast jednej struktury detekcyjnej. Jeżeli w obszarze wiązki promieniowania wystąpią różnice w intensywności promieniowania, to na jedną strukturę (z zestawu wielu struktur) padnie mocniejsze promieniowanie a na inną słabsze promieniowanie. Taka różnica zostanie wychwycona przez pojedynczy pomiar takim zestawem struktur. W przypadku pomiaru 4 PL 234 399 B1 pojedynczą strukturą taki pomiar nie będzie możliwy. Dopiero kiedy przesunie się tę pojedynczą strukturę w inne miejsce w obszarze wiązki promieniowania to wówczas zaobserwuje się sygnał o innej intensywności promieniowania. Jednak w takim sposobie pomiar się wydłuża, ponieważ konieczne jest wykonanie wielokrotnie większej ilości takich pojedynczych pomiarów. Dla rozwiązania według wynalazku możliwe jest wychwycenie zmian w intensywności promieniowania już przy jednym pomiarze. Dlatego sposób wg wynalazku znacznie przewyższa inne obecnie znane sposoby pomiarowe służące do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego. Figury rysunków Przedmiot wynalazku w przykładzie wykonania jest uwidoczniony na rysunkach, na których: Fig. 1. przedstawia ogólny widok elementów dla realizacji sposobu pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego poprzez skanowanie emitowanego promieniowania podczerwonego za pomocą zestawu wielopunktowymi strukturami detekcyjnymi. Fig. 2. przedstawia schematyczny widok elementów dla realizacji sposobu pomiaru promieniowania podczerwonego poprzez liniowe skanowanie emitowanego promieniowania podczerwonego, ze stopniowym przesuwem zestawu w poziomie i pionie. Fig. 3. przedstawia schematyczny widok elementów dla realizacji sposobu pomiaru promieniowania podczerwonego poprzez skanowanie emitowanego promieniowania podczerwonego w wyniku obrotu struktur detekcyjnych wokół ich środka (czemu odpowiadają obydwie strzałki). Fig. 4. przedstawia schematyczny widok elementów dla realizacji sposobu pomiaru promieniowania podczerwonego poprzez skanowanie emitowanego promieniowania podczerwonego w wyniku obrotu struktur detekcyjnych zgodnie z ruchem wskazówek zegara, wokoło pierwszej (czemu odpowiada prawa strzałka) lub ostatniej struktury detekcyjnej (czemu odpowiada lewa strzałka). Fig. 5. przedstawia układ (bez zachowania skali rozmiarów elementów składowych tego układu) do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego umożliwiający pomiar tego promieniowania z nanometrową rozdzielczością przestrzenną. Na każdej figurze od Fig. 2 do Fig. 5, rozmiar A jest szerokością struktury detekcyjnej, B szerokością przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami detekcyjnymi, dla których zachodzą zależności A = B < 100 nm oraz A + B = C, gdzie C oznacza rozdzielczość pomiaru. Przykład realizacji wynalazku Sposób pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) w całym zakresie falowym tego promieniowania, realizowany w bezpośrednim obszarze źródła (3) promieniowania podczerwonego czyli w tzw. polu bliskim. W sposobie pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego według wynalazku, po przyłożeniu struktur detekcyjnych (5) w bezpośredni obszar (od frontu) źródła (3) emisji promieniowania podczerwonego (tzw. polu bliskim tego źródła) wiązką promieniowania podczerwonego ze źródła (3) promieniowania podczerwonego oświetla się zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5). Następnie w zależności od szerokości wiązek promieniowania podczerwonego można wykonać następujące warianty: ? w pierwszym przypadku, dla szerokich wiązek promieniowania podczerwonego, jeśli struktury z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) swymi rozmiarami nie pokrywają całego obszaru przestrzennego wiązki tego promieniowania, to emitowane promieniowanie podczerwone (1) skanuje się liniowo ze stopniowym przesuwem w pionie lub poziomie zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych ( 5), albo ? w drugim przypadku, dla wąskich wiązek promieniowania podczerwonego jeśli struktury z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) swymi rozmiarami obejmują cały obszar wiązki tego promieniowania. W drugim przypadku emitowane promieniowanie podczerwone (1) skanuje się obracając zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) wokół środka zestawu (2), albo emitowane promieniowanie podczerwone (1) skanuje się obracając zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) zgodnie z ruchem wskazówek zegara wokół pierwszej lub ostatniej struktury z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5). PL 234 399 B1 5 W wyżej wymienionych przypadkach stopniowy obrót i liniowy przesuw w (pionie i poziomie) struktur detekcyjnych jest realizowany w wyniku nano-pozycjonowania tych struktur z użyciem piezoprzesuwu. Po przeskanowaniu obszaru przestrzennego wiązki promieniowania podczerwonego z każdej struktury z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych przekazuje się sygnały elektryczne do zewnętrznego miernika parametrów elektrycznych, który połączony jest z urządzeniem przetwarzającym wychwycony sygnał (zazwyczaj jest to komputer z odpowiednim oprogramowaniem). Dla każdej struktury detekcyjnej (5) z zestawu (2) zapewniony jest osobny odczyt pomiarowy. Na zakończenie, za pomocą urządzenia (9) przetwarzającego zarejestrowany sygnał otrzymuje się przestrzenny rozkład natężenia promieniowania podczerwonego w obszarze wiązki promieniowania. Przez wąską wiązkę promieniowania rozumiemy wiązkę promieniowania dopasowaną do ilości struktur detekcyjnych, które swoimi rozmiarami obejmą całą wiązkę promieniowania. W przypadku dziesięciu struktur detekcyjnych o szerokości (A) wynoszącej 50 nm i szerokości B przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami wynoszącej 50 nm, otrzymuje się zestaw (2) struktur detekcyjnych (5) o rozmiarze wynoszącym 1000 nm (A + B = 100 nm pomnożone przez 10 struktur detekcyjnych). ? Dla przypadku pomiaru przez obrót wokół środka struktur detekcyjnych (5) można analizować wtedy tylko wiązki o rozmiarze przestrzennym (średnicy) do 1000 nm. ? Dla przypadku pomiaru, w którym obraca się zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) zgodnie z ruchem wskazówek zegara wokół pierwszej lub ostatniej struktury z zestawu (2) można analizować tylko wiązki o rozmiarze przestrzennym (średnicy) do 2000 nm (dwa razy więcej niż dla pierwszego przypadku). ? Dla przypadku pomiaru przez skanowanie wiązki promieniowania liniowo ze stopniowym przesuwem w pionie lub poziomie zestawu struktur detekcyjnych można analizować wiązki promieniowania w każdym rozmiarze. Po przeprowadzeniu i analizie pomiarów otrzymuje się przestrzenny rozkład natężenia promieniowania podczerwonego w obszarze wiązki promieniowania, po czym sporządza się wykres intensywności promieniowania podczerwonego w odniesieniu do jego położenia w obszarze wiązki promieniowania, gdzie określona będzie intensywność rozkładu tego promieniowania. Pozwoli to na określenie z nanometrową precyzją charakteru wiązki emitowanej przez źródło podczerwone. Układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) zawiera umieszczony na dielektrycznym podłożu (4) zestaw ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5), które mają rozmiary nanometrowe i ułożone w jednej linii (w postaci linijki). Struktury detekcyjne (5) są oddalone od siebie o szerokość (B) równą szerokości (A) pojedynczej struktury detekcyjnej. Jednocześnie każda ze struktur detekcyjnych (5) posiada swój kontakt elektryczny (6) oraz niezależne od pozostałych struktur wyprowadzenie elektryczne (7), umożliwiające niezależny odczyt sygnału przez połączenie tych struktur (5) z wielokanałowym miernikiem parametrów elektrycznych (8) oraz urządzeniem przetwarzającym zarejestrowane sygnały elektryczne (9). W sposobie wg wynalazku wykorzystuje się układ pomiarowy (przedstawiony na Fig. 5), którego głównym elementem jest zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) o nanometrowych rozmiarach. Struktury detekcyjne (5) wykonuje się w postaci nanotermorezystorów lub nanozłącz termoelektrycznych (opartych na zjawisku Seebecka). Struktury detekcyjne (5) wytwarza się na dielektrycznym podłożu (4) za pomocą dostępnych technik, które umożliwiają uzyskanie nanometrowych rozmiarów tych struktur. Mogą to być techniki oparte o zogniskowaną wiązkę jonów lub wysokorozdzielcze techniki fotolitografii lub elektronolitografii. Jako dielektryczne podłoże (4), na którym wykonuje się struktury detekcyjne (5) można zastosować podłoże szafirowe, kwarcowe lub inne pokrewne. Może to być także podłoże półprzewodnikowe (GaAs, SiC, czy Si lub inne) pokryte cienką warstwą dielektryka np. SiO2. Struktury detekcyjne powinny być wykonane tak, aby szerokość A pojedynczej struktury detekcyjnej wynosiła od rozmiarów pojedynczych nanometrów do nie więcej niż 100 nm. Ograniczeniem uzyskania jak najmniejszych rozmiarów struktur detekcyjnych (5) jest zdolność rozdzielcza metody użytej do wytworzenia takich struktur. Szerokości B przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami detekcyjnymi (5) może być mniejsza od szerokości A pojedynczej struktury detekcyjnej (5), ale lepiej jest gdy szerokość przerwy jest równa szerokości pojedynczej struktury detekcyjnej (5), ponieważ taka szerokość zapewni bezpieczny obszar odseparowania kolejnych termoelementów, tak aby podczas detekcji promieniowania uniknąć rozejścia się padającego promieniowania na konkretny termoelement na kolejny najbliższy 6 PL 234 399 B1 termoelement. Suma C szerokości A pojedynczej struktury detekcyjnej (5) i szerokości B przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami detekcyjnymi (5) oznacza wówczas zdolność rozdzielczą metody pomiarowej. Na przykład jeśli zostanie wykonana struktura detekcyjna (5) o szerokości A = 50 nm, to następna struktura detekcyjna (5) powinna być oddzielona przerwą o szerokości B = 50 nm, a wówczas zdolność rozdzielcza metody wyniesie C = 100 nm. Zastosowanie wynalazku Sposób i układ wg wynalazku przeznaczone są do pomiaru z nanometrową rozdzielczością przestrzenną natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego w bezpośredniej bliskości źródła emisji tego promieniowania tzw. polu bliskim. Sposób ten umożliwia także detekcję szybkich zmian rozkładu tego promieniowania i umożliwia badanie źródeł emitujących promieniowanie w całym zakresie podczerwieni. O ogólnej przydatności źródeł promieniowania podczerwonego decydują: prąd progowy, sprawność kwantowa, emitowana moc, jaskrawość (luminancja) i parametr jakości wiązki (M 2). Znajomość rozkładu promieniowania w bliskim polu pozwoli przeanalizować wpływ geometrii, sposobu zasilania i konstrukcji źródeł promieniowania na emitowaną wiązkę oraz projektować źródła emitujące wiązkę o optymalnym kształcie. Sposób ten, umożliwi też badanie zależności wiążących kwantowe zjawiska optyczne ze zjawiskami cieplnymi i elektrycznymi. Ponadto opracowany sposób i układ będą mogły być wykorzystane do badań źródeł emitujących promieniowanie THz (np. anteny czy kwantowe lasery kaskadowe emitujące w paśmie terahercowym). Zastrzeżenia patentowe 1. Sposób pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) w całym zakresie falowym tego promieniowania, realizowany w bezpośrednim obszarze źródła (3) promieniowania podczerwonego, znamienny tym, że a) wiązką promieniowania podczerwonego ze źródła (3) promieniowania podczerwonego oświetla się zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5), po czym b1) jeśli struktury (5) z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) swymi rozmiarami nie pokrywają całego obszaru przestrzennego wiązki tego promieniowania, to emitowane promieniowanie podczerwone (1) skanuje się liniowo w całym obszarze wiązki, ze stopniowym przesuwem w pionie lub poziomie zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5), albo b2) jeśli struktury (5) z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) swymi rozmiarami obejmują cały obszar przestrzenny wiązki tego promieniowania to b2.1) emitowane promieniowanie podczerwone (1) skanuje się obracając zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) wokół środka zestawu (2), albo b2.2) emitowane promieniowanie podczerwone (1) skanuje się obracając zestaw (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) zgodnie z ruchem wskazówek zegara wokół pierwszej lub ostatniej struktury z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5), a następnie z każdej struktury z zestawu (2) ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5) przekazuje się sygnały elektryczne do zewnętrznego miernika (8) parametrów elektrycznych, po czym za pomocą urządzenia (9) przetwarzającego zarejestrowany sygnał otrzymuje się przestrzenny rozkład natężenia promieniowania podczerwonego w obszarze wiązki promieniowania. 2. Sposób pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) według zastrzeżenia 1 znamienny tym, że szerokość (A) pojedynczej struktury detekcyjnej wynosi od 1 nm do 100 nm. 3. Sposób pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) według zastrzeżenia 1 albo 2 znamienny tym, że szerokość (B) przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami detekcyjnymi (5) wynosi od 1 nm do 100 nm. 4. Układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) znamienny tym, że zawiera umieszczony na dielektrycznym podłożu (4) zestaw ułożonych szeregowo struktur detekcyjnych (5), które to struktury detekcyjne (5) są oddalone od siebie o szerokość (B) równą szerokości (A) pojedynczej struktury detekcyjnej (5), jednocześnie PL 234 399 B1 7 każda ze struktur detekcyjnych (5) posiada swój kontakt elektryczny (6) oraz niezależne od pozostałych struktur wyprowadzenie elektryczne (7), które łączy każdą strukturę detekcyjną (5) z miernikiem parametrów elektrycznych (8), a miernik ten połączony jest z urządzeniem (9) przetwarzającym zarejestrowany sygnał. 5. Układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) według zastrzeżenia 4 znamienny tym, że szerokość (A) pojedynczej struktury detekcyjnej wynosi od 1 nm do 100 nm. 6. Układ do pomiaru natężenia i rozkładu przestrzennego promieniowania podczerwonego (1) według zastrzeżenia 4 albo 5 znamienny tym, że szerokość (B) przerwy pomiędzy kolejnymi strukturami detekcyjnymi (5) wynosi od 1 nm do 100 nm. 8 PL 234 399 B1 Rysunki PL 234 399 B1 9








Grupy dyskusyjne